엡손의 독자적인 특허 기술인 QMEMS을 적용하여 고속에서도 고정밀, 저진동 동작 특성을 실현합니다. QMEMS는 Quartz와 미세가공기술인 MEMS가 결합한 미세한 진동을 감지할 수 있는 자이로센서로 로봇의 고속동작 중 발생하는 미세한 진동을 검출 및 억제함으로써 정밀한 작업을 수행합니다.