초정밀 Stage : LCD/PDP,OLED, 반도체, 자동화용 단축 계측장비에 적용되며 CAE simulation Technology를 이용한 최적 구조설계, Gantry의 오차분석과 공간정밀도 보정기술, Digital Control을 통한 진동 제어, Motion Tuning의 기술을 보유하고 있습니다. 응용분야는 CVD Repair, Module Repair, TFT Trimmiing, Cell Repair, 박막 두께 검사 및 측정기입니다. 주요특징으로 우수한 속도 안정성 확보(Scan/PTP motion), 고강성 및 안정된 system을 구현, 제어성능 확보, 효율적인 공간활용, 미진동 대응 방진설계가 있습니다.